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新手艺!研讨员开辟高效转移晶圆级Micro LED的新方式

来历:LEDinside 时候:2020-09-10 14:12 [编辑:emily] 【字体: 】 我来讲两句

在冲破Micro LED瓶颈手艺的路上,环球规模内的研讨者从未止步。

据报道,由广东省半导体财产手艺研讨院、日本东京大学和佛山市德宝显现科技无限百姓彩票构成的研讨团队展开了题为《转移至胶膜上的立体和曲面显现屏用晶圆级Micro LED》(Wafer-Scale Micro-LEDs Transferred onto an Adhesive Film for Planar and Flexible Displays)的研讨。

比来,该研讨已颁发在《进步前辈资料手艺》(Advanced Materials Technologies)期刊上,展现了一项连系胶带和激光剥离工艺的新型转移手艺。

在此研讨中,研讨者描写了名为“胶带帮助激光转移”(TALT)的体系处理计划,操纵低本钱的胶带作为撑持衬底,操纵激光剥离工艺将Micro LED转移至胶带上,而后再将安排另外一片胶带。因为胶带极强的粘协力,Micro LED可以或许或许从第一片胶带转移至另外一片胶带长进行倒装接合。

图片来历: Pan et al. 2020

据研讨者先容,这个方式可以或许或许完成晶圆级Micro LED的疾速转移,良率高且可以或许最大水平地削减位移景象。同时,经由过程激光剥离工艺,可以或许或许有挑选性地将Micro LED转移至胶带上。

研讨者表现,这项手艺不只合用于晶圆级Micro LED转移,也合用于倒装接合。他们以为此手艺在开辟用于AR/VR智能眼镜的曲面或立体Micro LED显现面板方面有庞大的潜力。

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